橢圓偏光儀作為精密光學(xué)測量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)以及納米技術(shù)等領(lǐng)域。其主要功能是通過測量反射光或透射光的偏振狀態(tài)，來推算樣品的厚度、折射率以及光學(xué)常數(shù)等參數(shù)。由于橢圓偏光儀屬于高精度儀器，其測量結(jié)果易受到外部環(huán)境因素的影響，因此環(huán)境適應(yīng)性成為儀器性能和應(yīng)用可靠性的重要指標。環(huán)境適應(yīng)性，是指橢圓偏光儀在不同實驗或工業(yè)環(huán)境中，仍能保持穩(wěn)定、準確的測量能力的能力。對于光學(xué)測量設(shè)備而言，環(huán)境適應(yīng)性不僅涉及儀器在溫度、濕度、振動等條件下的穩(wěn)定性，還包括其對空氣污...

反射膜厚儀是一種利用光譜反射原理測量薄膜厚度和折射率的精密儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、平板顯示、太陽能電池等領(lǐng)域。特點：非破壞性測量無需接觸或損傷樣品，可對成品、半成品進行多次復(fù)測，避免樣品損耗。高精度與寬量程精度：常規(guī)型號±2nm~±5nm；量程：覆蓋1nm至數(shù)百微米，部分型號支持多層膜測量?？焖俑咝未螠y量時間短，簡易款約0.1~1秒，分光法約3~5秒，可滿足生產(chǎn)線“在線檢測”需求。操作便捷內(nèi)置常見材料的折射率數(shù)據(jù)庫，無需手動輸入?yún)?shù)...

穆勒矩陣光譜橢偏儀基于更普適的穆勒-斯托克斯形式主義。它通過系統(tǒng)性地改變?nèi)肷涔獾钠駪B(tài)（由起偏器和可調(diào)偏振態(tài)發(fā)生器實現(xiàn)），并精確測量所有四個斯托克斯參量構(gòu)成的反射或透射光偏振態(tài)（由檢偏器和偏振態(tài)分析器實現(xiàn)），從而構(gòu)建出一個4x4的穆勒矩陣M。該矩陣完整描述了樣品對入射偏振光的所有改變（強度、偏振度、偏振方向、橢圓率等），包含了遠超Ψ和Δ的豐富信息，特別適用于分析具有各向異性、粗糙度、圖案化結(jié)構(gòu)或存在去偏振效應(yīng)的復(fù)雜樣品。一套典型的穆勒矩陣光譜橢偏儀主要由以下幾個關(guān)鍵子系統(tǒng)構(gòu)成...

在線膜厚儀廣泛應(yīng)用于多個領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、電池制造、涂料、塑料和金屬薄膜等。每個領(lǐng)域的薄膜種類和厚度要求不同，因此對膜厚儀的精度、穩(wěn)定性、適用范圍等要求也各不相同。不同種類的薄膜對膜厚儀的測量性能有著直接的影響。主要影響因素包括薄膜的材料特性、折射率、吸光度、表面平整度等。以下將從幾個常見的薄膜種類出發(fā)，探討在線膜厚儀的適用性和限制。1、金屬薄膜金屬薄膜通常具有較高的反射率，這使得在線膜厚儀能夠通過光學(xué)干涉法等方法有效地測量其膜厚。金屬薄膜如銅、鋁、金等材料通常應(yīng)...

光譜橢偏儀是一種高精度的光學(xué)測量儀器，主要用于分析材料的光學(xué)性質(zhì)(如折射率、消光系數(shù))、薄膜厚度(從納米到微米級)以及表面/界面的微觀結(jié)構(gòu)信息。其核心原理是利用光的偏振狀態(tài)在材料表面反射或透射后的變化，通過解析這種變化反推材料的物理特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、納米材料、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。該設(shè)備在操作時可以不接觸、無損測量，不破壞樣品；厚度測量可達亞納米級；無需標記或預(yù)處理，適用于多種材料。選購光譜橢偏儀時可以關(guān)注以下幾點：1、光譜范圍：根據(jù)測量材料的光學(xué)特性選擇合適的光譜...